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成品率提升
有效缩短开发周期,实现高质量量产

概述

乐鱼微针对高效的工艺开发的服务解决方案,为晶圆厂加快研发速度,提升量产成品率和稳定性。在工艺开发不同阶段的工具组合,从初期工艺搭建,产品试生产到量产监控,准备了包含设计、测试和数据整合分析方案。在大量实践项目中,为合作晶圆厂的工艺保驾护航。

 

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竞争优势

乐鱼微技术核心在于挖掘提升数据驱动效率的方法论。以工艺开发为例,传统的工艺开发流程主要通过产品测试分辨失效根因,而先进的测试芯片方法,能通过全面、系统的DoE参数设计,通过电性监控,解耦定位到根因工序。结合Failure Analysis等常用手段,可以更全面的表征问题,发现问题,缩短流片学习周期。
同时,Test Chip工艺相关的DoE设计,能够节省大量工艺Split资源,能够在同一片wafer上实现工艺比较。同时,Test Chip提供系统性的工艺监控数据,建立成品率与工艺步骤、失效机制之间的关联,为流片工艺改进提供直接的量化依据和判断标准。设计工具与方法以及设计单元通过大量实践迭代,能加快开发速度,为晶圆厂提供核心的竞争优势。

保障良率达到可量产的高质量水平

这一良率提升方法学贯穿在晶圆厂制造过程中,为每阶段的工作提供可量化、可对标的良率指标。通过系统化方法Methodology、签核Signoff流程和高维度宏观的良率管理,保障良率达到可量产的高质量水平。
设计
深入理解工艺特点,通过提炼工艺窗口,总结潜在失效机制,利用DoE去触发、放大工艺问题,设计一系列带有测试结构库的测试芯片,用于监测潜在的产品/工艺良率风险。
测试
结合乐鱼微高效测试性能的WAT晶圆级电性测试设备,能够显著提升测试效率,测试得到的海量数据。
分析
通过乐鱼微的DATAEXP 大数据分析平台得到全面的数据分析,解耦实际工艺问题与其对良率的影响。根据良率影响的优先级,设计工艺分割方案纠正问题并推动良率的改善。
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