概述
乐鱼微针对高效的工艺开发的服务解决方案,为晶圆厂加快研发速度,提升量产成品率和稳定性。在工艺开发不同阶段的工具组合,从初期工艺搭建,产品试生产到量产监控,准备了包含设计、测试和数据整合分析方案。在大量实践项目中,为合作晶圆厂的工艺保驾护航。
乐鱼微针对高效的工艺开发的服务解决方案,为晶圆厂加快研发速度,提升量产成品率和稳定性。在工艺开发不同阶段的工具组合,从初期工艺搭建,产品试生产到量产监控,准备了包含设计、测试和数据整合分析方案。在大量实践项目中,为合作晶圆厂的工艺保驾护航。
乐鱼微技术核心在于挖掘提升数据驱动效率的方法论。以工艺开发为例,传统的工艺开发流程主要通过产品测试分辨失效根因,而先进的测试芯片方法,能通过全面、系统的DoE参数设计,通过电性监控,解耦定位到根因工序。结合Failure Analysis等常用手段,可以更全面的表征问题,发现问题,缩短流片学习周期。
同时,Test Chip工艺相关的DoE设计,能够节省大量工艺Split资源,能够在同一片wafer上实现工艺比较。同时,Test Chip提供系统性的工艺监控数据,建立成品率与工艺步骤、失效机制之间的关联,为流片工艺改进提供直接的量化依据和判断标准。设计工具与方法以及设计单元通过大量实践迭代,能加快开发速度,为晶圆厂提供核心的竞争优势。