晶圆级电性参数测试设备

为研发、量产和可靠性测试提供高效和精确的电性参数测试

晶圆级电性参数测试设备

在集成电路的产品开发、工艺制造和产品验证过程中，对电性参数测试的需求日益提高， Semitronix 乐鱼微经过十余年，自主研发高效电性参数测试设备和解决方案，已成功进入多家内外领先的芯片设计类（Fabless）企业、代工制造类 (Foundry）企业、垂直整合制造类（IDM）企业和研发实验室（R&D Lab），协助完成多种测试任务,并且高效、精确地提取器件和工艺相关的电性参数，实现以数据驱动芯片产品的功耗-性能-面积-成本(PPAC) 优化、可靠性以及成品率提升。
目前，Semitronix乐鱼微现有的测试应用场景包括：高并行 R&D测试、高效WAT 量产测试，以及可靠性 WLR 测试，在未来将逐步增加测试设备种类，拓展到其他测试应用场景。

技术优势

设备测试性能

● 电流：测试精度0.1pA以下，最小分辨率0.1fA，最大范围1A
● 电压：测试精度0.1mV以下，最小分辨率0.1 µV，最大范围200V
● 电容：测试精度0.01pF，最大范围100nF, 支持C-V扫描
● 高效的测试产能（Throughput）: 1.4X-5X
● 支持超并行测试能力，提高测试效率

测试软件

● Algorithm Builder: 基于TCL语言的算法编辑
● Test Plan Editor: 根据测试需求,简便地做出test plan
● Framework: 强大的测试结果预警和处理机制
● Low Yield Management System 良率管理系统（LYM）
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 测试，扩展测试机通用性

工厂自动化

● 支持与各类Prober(TEL/TSK/Sidea/Semishare…)集成
● 符合SEMI标准，实现EAP GEM 300标准自动化测试流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等协议

应用场景

晶圆级WAT测试设备

晶圆级电学参数测试设备，为客户提供准确且高度自动化的测试解决方案，用于高效监控工艺

晶圆级WLR测试设备

晶圆级可靠性(WLR)测试设备，快速准确评估元器件是否能保持其电性规格高一致性的能力

工艺开发测试设备

应用于技术研发阶段，大幅提升测试效率和精度

主要特点

为客户在程序控制过程中提供准确且高度自动化的测试解决方案
提供两种操作方式：在线测试、离线测试
根据前期测试结果能够让工程师灵活地改变测试计划的细节
方便地控制晶圆探针台并制定测试框架的执行流程
涵盖所有WAT测量项目：MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
自主研发高性能硬件配置方案和电路结构设计，快速的并行测试技术平衡优化了测试速度及精度，连续采样率高达1.8M samples / 秒

基本配置

Tester	T4000系列	T4100S系列	T4100S系列-copy-1678252710
#of PINs	24 to 28	22to 28	22to 28
#of SMUs	6 to 12 (shared SMU)	22 to 48 (per pin)	22 to 48 (per pin)
#of LCR	1	1 to 2	1 to 2
#of PGU	2	2	2
Parallel testing support	Yes	Yes	Yes
Throughput(WPH)	~1.3x-2x	~1.5x-5x	~1.5x-5x