工艺开发测试设备

应用于技术研发阶段，大幅提升测试效率和精度

简介

半导体行业发展迅速，技术的不断更新迭代，使得摩尔定律可以继续延续。技术研发在半导体行业具有重要意义，通过不断改进半导体材料、工艺和器件设计，可以提高芯片的性能，如速度、功耗、集成度等，从而推动整个电子产品的发展。

在技术研发阶段，需要进行大量电性参数测试，以此来反应器件、工艺是否符合要求。乐鱼微测试设备测试效率高、精度高，适用于各类应用场景，包括SPICE模型测试、可寻址测试和可靠性测试等，为半导体行业的技术研发提供了可靠支持。

设备优势

测试效率高

可实现单条Module或多条module同时扎针的并行测试

测试精度高

电流精度为0.1pA，电流分辨率可选配到0.1fA

与Addressable设计协同

大幅度提升测试效率，快速定位到器件或工艺问题

基本配置

TD Tester	T4000 (48/100 pin)*
Standard Resources	HR_SMU+HS_SMU (18~36)
	Pulse generator (2/4)
	Signal analyzer (2)
	Switch matrix
	LCR Meter (1/2)
Number of measurement pins	48/100
Voltage Coverage	±200 V
Current Coverage	±1 A
Voltage measure sensitivity	100 nV
Current measure sensitivity	0.1fA
Voltage measure accuracy	100uV
Current measurement accuracy	0.1 pA
Maximum SMU sample rate	1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy	10 fF
RO Frequency Coverage	~ 20MHZ
Measurement Functions	DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency Arbitrary Waveform / Clock Generation / Synchronization (triggering mode) / C-V scan
Typical Supported Test Items	Addressable (Transistor Array/ Yield Array/Ring Oscillator Array/CBCMOVCMDenseArrayHYDS) ID/VT/VTGM/IOFF/ISUB/BV/CAP//ICP
	BETA/VBE/BVCEO/BVCBO/BVEBO
	R2/RKLV/LK/CAP_METAL
	IREAD/ISTANDBY/IDDQ/WM/SNM
	ERASE/PROGRAM
	IDDA/IDDQ/FREQ
	IDDA/IDDQ/FREQ
Mean time between failures (MTBF)	> 1000 hours
Mean time to repair (MTTR)	< 6 hours
Uptime rate	~ 97%

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

测试软件

使用界面友好

Algorithm使用 TCL/C++ 语言
支持导入/导出 excel/txt 格式的规范文件

提升测试速度

自动对初始化条件相同的测试项目进行分组

自动化

与Fab的 EAP 系统自动运行集成
可定制数据格式（.lot、.csv、.ad5 等）

其他强大功能

通过虚拟硬件环境在 PC 上进行验证
调试模式使Algo调试更简单、更高效
自动重新测试可能存在探测问题的失败测试项目
直接导入Baseline Testplan
实时显示
处理早期报警和低产量问题